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MBE

非标定制超高真空腔体漏率<1E-10 mbar ls-1
四维或五维样品台调节
样品可选配：液氮冷却、液氦冷却
样品尺寸可选配：Omicron flag sample、Φ1”or Φ2”以及非标定做样品托
样品加热可选配：950℃ 电阻加热或PBN加热;
1200℃ E-beam 加热;激光加热
可选配蒸发源、金属源
探测设备可选配：RHEED、LEED、晶振等
可手动或自动控制气路管道
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