• 1/1

磁控溅射

腔体材质:316L不锈钢电解抛光
腔体本底真空:<5E-7Pa
1英寸样品台，三轴样品位移台
加热台温度可达:1300°C
三合一磁控溅射靶枪:安装尺寸CF200、3个2英寸靶枪，灵活调节角度靶枪配备独立气路，挡板，水冷装置
气路控制单元
膜厚检测仪
靶枪直流电源
水冷系统: 5-30°C，控温精度 1°C
立即预约
产品详情


✔   收到资料后，我们的销售人员/产品工程师将与您联系

✔   部分产品可根据您的需求定制

✔   您的资料将全程保密

  • *
  • *
  • *