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多功能二维材料真空转移
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真空腔:高真空处理,低漏率,真空阀门
衬底四轴位移平台:电机驱动,XYZ行程20mm,步进精度0.05um,旋转精度0.05
衬底平台加热系统:最高加热温度150'C
同轴显微镜:镜筒0.7-4.5倍,镜头5x,20x,自带光源
显微相机:600万像素相机,USB3.0高清信号
显微镜位移台:XYZ三轴位移台、由电机驱动、行程30mm,精度0.5um
控制器:包括操控键盘、灯光开关、温度PID控制等
计算机:高性能Intel处理器,8G内存,显示器
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