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慢抽慢进气供气单元

镜面式供气系统,良好的人机界面
气体流速小于3 l/min 或气压小于100 Pa 的情况下不会产生微尘传送
全金属密封,本底真空度优于<5.0×10-6 Pa
检漏模块可选,联用时可实现非平衡态的调控
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